该设备综合了CS8520和SICA88两款设备的优点，可以完全替代国外高端设备。从2022年底到2023年，该设备在国内碳化硅检测设备行业新增市场占有率为70%。该设备具备明场、暗场和光致发光三通道检测模式，目前设备产能为全球最高。该设备长期为瀚天天成、杭州海乾、广州南砂、广东天域、北京天科以及中电化合物等公司提供稳定可靠的碳化硅晶圆缺陷检测方案，得到了行业内的广泛认可。