据晶盛机电官微消息,日前,晶盛机电子公司浙江晶瑞电子材料有限公司实现12英寸导电型碳化硅(SiC)单晶生长技术突破,首颗12英寸SiC晶体成功出炉——晶体直径达到309mm,质量完好。
据悉,浙江晶瑞基于自主研发的SiC单晶生长炉以及持续迭代升级的8-12英寸长晶工艺,经过多年的技术攻关,创新晶体生长温场设计及气相原料分布工艺,成功攻克12英寸SiC晶体生长中的温场不均、晶体开裂等核心难题,实现了12英寸超大尺寸晶体生长的重要突破。
此次成功研制出12英寸SiC晶体,大幅度提升晶圆的有效可用面积,快速降低芯片单位成本,为国产SiC材料在新能源汽车、光伏储能、智能电网、5G及AI/AR智能眼镜等行业的快速规模化应用提供可能。