超洁净磁悬浮泵是一类基于磁悬浮技术的高速离心泵。ARC系列磁悬浮泵专为流体的超纯处理工艺而设计，通过磁悬浮技术将叶轮完全无接触地悬浮在一个封闭的超洁净腔体内，依靠精密可控的电磁场悬浮并驱动叶轮高速旋转。随着技术和应用的成熟，磁悬浮泵被广泛用于半导体制造的多个过程，例如电子化学液体输送、光化学处理、硅片刻蚀、硅片清洗、金属镀层和CMP药液输送等场景。