据绍兴日报、杭绍临空示范区绍兴片区官微消息,近日,位于杭绍临空示范区绍兴片区的兴材光罩基板研发、生产与产业化半导体创新集聚体项目迎来新进展。
据悉,该项目总投资20亿元,总用地40亩,建成后将具备年产空白光罩基板6万片的能力,其中二元掩膜(BIM)基板和相位移掩膜(PSM)基板各3万片,产品覆盖从成熟制程到先进制程的全系列光罩基板,可用于逻辑芯片、存储芯片、功率器件等关键领域,致力于打造全球一流、中国领先的光掩膜材料全系列供应链基地。
项目负责人表示,争取春节前完成打桩,7月主体结顶,9月底设备安装、调试,11月开始试生产,未来将成为技术和生产能力最先进的国产独立光罩材料制造厂。
项目计划采用分阶段产能爬坡策略,逐步释放产能,确保良率稳定提升,产品结构也将向高端制程持续延伸,致力打破国外在高端光罩材料领域的技术封锁和市场垄断,有效缓解国内产业链的“卡脖子”困境。