无锡恒大电子科技有限公司研制的研磨液回收混配系统设备(HA-2N21B)，主要包含供应单元及回收混配单元。供应单元是将新鲜的研磨液供应至CMP工艺系统中，包括过滤器、供液泵、传感器、水枪气枪、桶槽等结构。该系统功能为研磨液混配输送功能，研磨液原液流入定容罐，然后输送到配液罐，配液完成后经过输送管路输送至VMB再连接到使用机台；回收混配单元主要多个传感器及过滤装置等组成，大颗粒在过滤单元进行过滤，冷却单元会将回收浆料冷却至所需温度，电导率仪确保混配的研磨液符合再次供应CMP系统的品质要求。

研磨液回收混配系统设备自2021年投放市场以来，累计销售额突破5000万元。该系列产品目前稳定应用在半导体行业大型客户生产制程中。