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晶盛机电首条12英寸碳化硅中试线通线

来源:大半导体产业网    2025-11-21
晶盛机电表示8英寸碳化硅衬底在技术和规模方面处于国内前列,首条12英寸碳化硅衬底加工中试线已正式通线。

大半导体产业网消息,11月20日,晶盛机电在投资者互动平台表示,公司碳化硅衬底材料业务已实现6-8英寸碳化硅衬底的规模化量产与销售,量产产品核心参数指标达到行业一流水平,8英寸碳化硅衬底在技术和规模方面处于国内前列。

晶盛机电介绍,当前公司正积极推进碳化硅衬底产品在全球范围内的客户验证工作,送样客户范围较此前有大幅提升,产品验证进展整体顺利。同时,公司首条12英寸碳化硅衬底加工中试线已正式通线。

至此,晶盛机电已构建起12英寸SiC衬底装备到材料的完整闭环。