Explore 0 9000系列图案晶圆检测设备，针对4/6/8寸前道Fab厂的ADI、AEI、FQC等制程量检测，包括晶圆外观缺陷检测、关键尺寸CD量测，同时可选配边缘检测。

主要特点：1、自主开发大视场光机成像系统，有效提升20%WPH；2、自主知识产权Gobrain双核检测算法，缺陷检出率可达99.9%以上；3、宽波段明暗场光源、快速检测微小的缺陷，能检测最小0.2um缺陷；4、模块化软件设计、开放式接口、可定制化检测方案和软件配置，可根据产线需求进行定制化配置和开发；5、ADC缺陷精确分类算法，分类准确性达98%以上；6、Goinfo工艺质量分析系统，指导产线工艺改善，有效提升产线良率。