此设备集成了单腔体清洗模块和槽式清洗模块，可用于300mm晶圆生产线的前端和后道工艺，尤其可用于高温硫酸SPM蚀刻清洗工艺。设备最突出的优势是将槽式去胶工艺与单片清洗工艺整合，取两者之工艺长处。高温SPM去胶工艺可在槽式模块中完成，因此硫酸可使用的寿命较长，而后续污染物及颗粒的去除则通过单腔体清洗模块完成。相比传统单片清洗设备，此设备极大节约了硫酸用量，而相比传统槽式清洗设备，其清洗能力又可和单片清洗设备相媲美。