中国台湾存储厂华邦电子持续加速推进先进制程升级与布局。华邦电子总经理陈沛铭表示,14纳米制程将分为不使用及使用极紫外光(EUV)的两代技术,若开发顺利,预计2030年导入EUV。
陈沛铭指出,华邦电子与ASML就EUV的合作已进行约三年半,目前派员赴ASML接受训练、试跑及量测,为后续制程导入做准备。设备厂承诺华邦电子首台EUV机台约两年可以交付,后续机台依现在交期要约三年半。
华邦电子11月3日董事会通过731.63亿元资本支出,正式启动高雄园区12寸晶圆厂扩建计划,资金将用于厂房兴建、厂务设施及生产设备采购。
陈沛铭同时强调,这笔投资涵盖Module B建设、机电设施及部分长交期设备,正常交期的投资金会陆续加进来,因此该金额并非整个Module B的总投资金额,后续仍将依制程与设备需求分阶段规划。
根据规划,Module B将于2026年12月29日动工,两年内开始装机,2029年下半年小批量生产,2030年开始大量生产,最终规划月产能约5万至6万片。