减压阀产品，核心功能是将高压气体降低并稳定至工艺所需的设定压力，确保下游气体供应压力的连续性和稳定性。减压阀的稳定输出直接关系到工艺重复性和产品良率；通过与流量控制、过滤等功能模块集成，共同满足半导体制造等高洁净度环境对气体参数的严格要求，通过精确维持压力设定值，保障了工艺窗口的可控性。

星奇自研自制的减压阀产品系列，在产品结构、材料工艺、表面处理方面进行技术创新，在漏率、蠕变、压力稳定性、内表面粗糙度、温度范围、Cv值稳定性等技术指标达到国内领先，部分指标达到国际先进水平。

星奇的高端减压阀产品系列，已广泛应用于ETCH、PECVD、ALD、RTP、IMP、WET等制程工艺。