据珠海科技产业集团官微消息，10月14日，珠海智桦半导体总部基地投产仪式在珠海科技产业集团大湾区智造产业园举行。

据悉，作为智桦半导体战略布局的核心枢纽，珠海基地计划总投资2亿元，建成后年产1000台套半导体臭氧设备，预计达产后年产值可达10亿元，新增就业岗位300个。

资料显示，智桦半导体深耕半导体臭氧发生领域十余年，已成长为国内少数具备自主研发能力、掌握全套核心部件、软件及专利技术的专业供应商。核心产品涵盖高浓度臭氧气体系统、高纯臭氧水系统等系列设备，可精准满足半导体制造的严苛洁净度要求，能有效去除晶圆表面纳米级杂质。

其产品已成功应用于台湾地区及东南亚多家尖端晶圆制造企业，核心技术指标全面对标业内进口主流品牌：臭氧气体浓度最高可达420g/m³，臭氧水浓度稳定维持在140ppm以上，成功填补国内半导体清洗设备关键部件领域的技术空白。

除标准化产品外，智桦半导体还创新研发了二氧化碳功能水系统等特色解决方案——通过将二氧化碳溶解于超纯水中形成酸性功能水，为晶圆清洗提供更环保、更高效的新选择。