您的位置:首页 设备材料

国奥科技(深圳)有限公司——直线旋转固晶模组GAS-LRS5006-30-AB-CL-G

来源:大半导体产业网    2026-03-27
GAS-LRS5006专为芯片键合场景打造,在原有全球领先的±0.01N力控精度基础上,创新融合气浮轴承应用、多轴协同控制等核心技术,实现从接触式机械传动到无接触气浮传动、分体式组合到一体化集成的跨越。

GAS-LRS5006专为芯片键合场景打造,在原有全球领先的±0.01N力控精度基础上,创新融合气浮轴承应用、多轴协同控制等核心技术,实现从接触式机械传动到无接触气浮传动、分体式组合到一体化集成的跨越。

它的核心亮点在于:结构上采用“直线-旋转”轴系一体化设计,气路-电路-真空路集成布局,搭配一体铝合金外壳的紧凑型外观,大幅节省安装空间与能耗;工艺上通过百级洁净装配、实时变形监测等高精度流程,保障设备稳定性。其独创ZR电机一体化设计为竞品独有,力位融合控制实现精准键合,不仅适配先进半导体封装,更拓展至车规级功率器件、微型光电器件领域,以一体化、高精度、长寿命优势,打破进口设备技术壁垒,助力产业高质量发展。