无锡恒大电子科技有限公司作为国家级专精特新“小巨人”企业，紧密围绕产业政策，结合目前行业发展现状，制定了公司技术发展规划，创新开发研磨液回收再生系统，并成功应用，为企业后期升级研磨液中央供应及混配的技术奠定基础。
Slurry（研磨液回收再生系统）设备主要包含：供应罐、再生罐、电子秤、可编程控制器、触摸屏、阀门、过滤器、供液泵等。
工艺路线从研磨液原液进入供应罐，研磨液回收液通过硅片抛光工艺系统进入再生罐，再生完成后，经过输送管道连接到使用机台，循环利用。
本产品在设计过程中主要攻克：系统研磨液结晶问题、温度问题、再生精度问题、软件操作问题等难关，过程中创新性的使用冷凝器结构、回收再利用结构、磁力泵输送装置等，有效保证系统的精度和稳定性。