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上海果纳半导体技术有限公司——天车OHT

来源:大半导体产业网    2026-03-26
该系统通过天花板上的轨道网络来运输物料容器(如FOUP和FOSB),避免了地面交通的干扰,提升了搬运效率和环境洁净度。

OHT(Overhead Transport System,空中搬运系统)是AMHS(Automated Material Handling System,自动化物料搬运系统)的重要组成部分,广泛应用于半导体制造等领域。该系统通过天花板上的轨道网络来运输物料容器(如FOUP和FOSB),避免了地面交通的干扰,提升了搬运效率和环境洁净度。尤其在大尺寸晶圆的处理上,OHT能有效缩短生产周期,减少人力成本,并降低污染风险。

除了硬件设施外,OHT系统还集成了MCS(Material Control System,物料控制系统)、MCP(Master Control Processor,主控制处理器)以及OCS(OHT Control System,天车调度控制系统)等复杂的控制系统,负责管理和调度搬运设备,确保高效作业。通过结合智能算法和地图技术,OHT系统不仅能够优化物料搬运路径,还能通过模拟与数据分析进一步提升系统性能,增强整体生产效率和可靠性。