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新磊精密有限公司展出高分辨率及导电性Adama AFM钻石导电探针AD-40-AS/ OLYM

来源:大半导体产业网    2021-03-19
核心提示:原子力显微镜AFM能精准辨识出半导体制造工艺中的各种薄膜参数和结构样貌。电性分析(SCM、C-AFM)藉由二维掺杂异常分布影像判断故障点,对于逆向工程分析相当有帮助。

展位号:T3-3308

Adama钻石导电探针使用寿命最长
·高分辨率,针尖有 10nm 及 5nm以下两种;
·具导电性,可用于C-AFM、SCM、KPFM、EFM...等模式;
·广泛应用于 半导体厂、LED厂、PCB、IC设计封装、镜头厂、生物科技等多方面领域;
·可达到 形貌、粗糙度、电性、力学性质...等多面向量测;
1)AFM(原子力显微镜): 检测量测样品表面形貌、粗糙度及表面3D成像。
2)SCM: 经由导电探针取微分电容讯号转为二维掺杂分布影像。
3)C-AFM: 导电探针在针尖或样品上施予电压,以取得样品表面电流强度信息。

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