气体质量流量控制器VG80系列MFC是用于控制气体质量流量的零部件，广泛应用于半导体先进制程、生物医药、环境检测、真空镀膜等精准控制气体工艺的主要核心零部件。其中，在半导体先进制程领域主要用于刻蚀、CVD、光刻等工艺，确保气体流量的精确控制。

VG80为压降式MFC，拥有独特的双阀设计，基于pvt 理想气体状态方程原理的设计，可为客户提供高精度（±0.5%S.P.）、快响应（≤100ms）、宽量程（支持从极低流量到高流量的宽范围测量）、多气体多量程切换（可切换多种气体和流量，适用于不同的应用场景）、耐腐蚀性更优，零温度漂移的产品选择。