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晶盛机电:SiC衬底项目正式进入量产阶段

来源:大半导体产业网    2023-12-08
晶盛机电表示,今年11月公司正式启动进入了碳化硅衬底项目的量产阶段。

大半导体产业网消息,日前,晶盛机电披露投资者关系活动记录表显示,公司自2017年开始碳化硅晶体生长设备和工艺的研发,通过研发团队的技术攻关,公司于2018年成功研发出6英寸碳化硅晶体生长炉,于2020年建立长晶和加工研发实验线,于2022年成功研发出8英寸N型碳化硅晶体。2023年11月,公司正式启动进入了碳化硅衬底项目的量产阶段。

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