8月27日,沉积外延设备商研微(江苏)半导体科技有限公司宣布完成近15亿元B轮融资。本轮融资汇聚产业资本与头部投资机构,中电科产业基金、中车资本、京东方等产业方战略入股;中金资本、沃衍资本、华泰紫金等头部机构跟投,锡高投、湖杉资本、欣柯资本等老股东持续追投。
公开资料显示,研微半导体成立于2022年,总部位于江苏无锡高新区,是一家专注于高端半导体设备研发、生产与销售的企业。核心技术覆盖原子层沉积(ALD)、硅外延沉积(Si EPI)、等离子体化学气相沉积(PECVD)、碳化硅外延(SiC EPI)以及原子层刻蚀(ALE)等关键工艺设备,拥有完整自主知识产权。在产品矩阵上,研微半导体已形成覆盖晶圆制造、先进封装、特色工艺三大领域的自研设备体系。
值得一提的是,研微半导体成立以来已完成多轮融资。2025年11月,公司完成数亿元A轮融资,投资方包括永鑫方舟、金圆资本、合肥产投等;随后获得无锡创投集团、欣柯资本、湖杉资本的A+轮投资;2026年2月,公司再完成约7亿元A轮融资,投资方包括高瓴资本、中证投资、春华资本等。