据天眼查信息显示，近日，上海威耀实业有限公司（简称“威耀实业”）发生工商变更。原股东上海微电子装备（集团）股份有限公司（简称“上海微电子”）退出，新增上海芯上微装科技股份有限公司（简称“芯上微装”）为全资股东，认缴出资2.285亿元。

公开信息显示，芯上微装成立于2025年，是从上海微电子分拆后单独成立的公司。芯上微装业务定位能够快速实现市场化的设备，而上海微电子则将专注前道核心设备开发。2025年8月，芯上微装已交付500台步进光刻机。2025年11月，芯上微装自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）完成出厂调试与验收。

有消息称，当前上海微电子正处于资产拆分的重要阶段。据目前的公开信息，其前道光刻机业务注入上海宇量昇科技有限公司，后道封装光刻设备独立为芯上微装，上海微电子则保留极紫外（EUV）等下一代技术研发。此次芯上微装收购威耀实业，或旨在整合上海微电子旗下相关资产，成为独立的产业化平台，亦是上海微电子资产拆分的的重要布局之一。

但上海微电子、芯上微装等方面暂未对上述观点作出回应。