您的位置:首页 设备材料

新阳硅密(上海)半导体技术有限公司——MINI+单晶圆水平电镀系统

来源:大半导体产业网    2023-06-30
MINI+单晶圆水平电镀系统具备投入小、机型体积迷你、灵活性高的优势,适用于快速的工艺研发以及小批量的生产。

公司本次推出的MINI+单晶圆水平电镀系统具备投入小、机型体积迷你、灵活性高的优势,适用于快速的工艺研发以及小批量的生产,特别对于5G光电, 先进封装, 化合物半导体电镀工艺开发具有明显优势。产品尺寸涵盖4/6/8寸晶圆。电镀种类包含铜/镍/锡银/金/金锡。通过该设备平台可以使研发无缝转接至量产,快速达成工艺转移。产品目前均匀性已达到小于±5%。

0