据报道，近日，百立新半导体（浙江）有限公司（简称：百立新半导体）6英寸MEMS晶圆制造线项目备案手续已批复，项目建设周期为2024年至2026年。

据悉，该项目总投资13亿元，项目一期投资6亿元，其中固定资产投资4.5亿元，租赁厂房约10000平方米，主要建设年产72000片6英寸MEMS晶圆生产线，生产MEMS芯片、电子烟芯片及车载传感器芯片等；项目二期投资7亿元，其中固定资产投资6亿元，拟用地面积约50亩，主要建设MEMS晶圆生产线。