主要应用于第三代化合物半导体器件、LED 图形化衬底（PSS）、分立元器件、声表器件、微光学器件、集成电路、传感芯片、MEMS系统等微米或亚微米级的微纳加工。
采用积木错位蝇眼透镜消除衍射技术，配置高精度自动调平、调焦机构，具备多种曝光模式，从而实现高质量、高分辨率的紫外曝光。