据福建日报消息,近日,厦门火炬高新区企业瀚天天成依托研发团队的自主技术攻坚,成功开发出全球首款12英寸高质量碳化硅外延晶片。这一突破不仅能显著提高下游功率器件的生产效率,更将大幅降低碳化硅芯片的单位制造成本,为碳化硅产业规模化、低成本应用奠定关键基础。
据悉,相较于当前主流的150mm(6英寸)碳化硅外延晶片,以及尚处产业化推进阶段的200mm(8英寸)晶片,300mm(12英寸)晶片凭借直径的显著扩容,在相同生产工序下,单片可承载的芯片(器件)数量实现大幅提升——较6英寸晶片提升至4.4倍,较8英寸晶片提升至2.3倍。
目前,瀚天天成已启动12英寸碳化硅外延晶片的批量供应筹备工作。产品在关键性能指标上表现优异:外延层厚度不均匀性控制在3%以内,掺杂浓度不均匀性≤8%,2mm×2mm芯片良率大于96%,可充分满足下游功率器件领域的高可靠性应用需求。