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总投资106亿元,四川先导高端沉积装备智能制造项目冲刺年底竣工

来源:综合报道    2026-05-29
项目总投资106亿元,瞄准国产泛半导体高端装备的突破,一期预计年底竣工,2027年初将陆续实现投产。

据遂宁安居经开区管委会官微、遂宁新闻网消息,近日,四川先导高端沉积装备智能制造项目一期建设迎来新进展。项目负责人表示,目前所有主体工程已全部封顶,一期整体进度已达85%,预计今年底竣工,2027年初将陆续实现投产。

据悉,该项目总投资106亿元,瞄准国产泛半导体高端装备的突破,分两期建设。其中一期投资30亿元,将建设6栋厂房、1栋仓库和1栋研发楼,投产后可年产腔体5000个及各类镀膜设备75套(包括PVD30套、CVD40套及新能源镀膜设备5套),年产值预计可达53亿元。