上海盛剑环境系统科技股份有限公司——Local Scrubber

来源：大半导体产业网 2024-03-21

Local Scrubber前置处理薄膜、刻蚀、离子注入，扩散、外延等工艺机台在制程中排出的剧毒、易燃易爆及温室气体等有害气体。

Local Scrubber前置处理薄膜、刻蚀、离子注入，扩散、外延等工艺机台在制程中排出的剧毒、易燃易爆及温室气体等有害气体。经处理的废气进入后段有毒、酸碱等系统进行二次处理，实现达标排放。