Synertia^®射频功率传输平台--等离子体控制的未来。
Comet 的集成平台将实时数据洞察力提升到了一个全新的高度，从而提高了等离子工艺的稳定性。它可减少停机时间、提高产量和生产力。Synertia^®使用户能够管理新一代多层存储和原子级逻辑芯片生产中复杂的等离子工艺。
在 Synertia^®中，射频电源和射频匹配器以超高速相互作用，形成强大的协同效应。Synertia^®射频电源能够在微秒内对发自射频匹配器的数据做出反应。用户可完全控制 Synertia^®RFG 独特的加速性能，包括可重复性、多级脉冲和高速通讯。这种响应能力提供了可操作的深度洞察，使复杂等离子体的控制达到全新高度成为可能。