CERES Crown射频电源具有丰富的型号，友好的操作界面以及多种类的通信接口，满足各种真空等离子体应用需求。

1）拥有丰富的型号：频率范围：2，4，13.56，27.12，以及40.68MHZ，功率级别：30W - 15KW。

2）高性能表现：使用高效的E类开关模式设计，能降低产品的能耗并确保产品长时间的寿命。

3）精准的电源功率：功率的精准度在±0.5%设定值或满量程功率的±1%内。

4）简单灵活的操作界面。

5）标配多重通信接口：D-net, Analog, Ethernet, RS232，RS485, PROFIBUS等

6）带有与匹配器通信标准RS485接口,用户可通过射频电源的前操作面板或上位机控制与监视匹配器的状态。

7）典型应用领域：HDP~CVD；PECVD；Etch~ICP/RIE；PVD；Plasma Cleaning。