展位号：T1-1214

质量流量控制器：

1）压电控制技术
2）可实现各种气体（含蒸汽）的精密测量和控制
3）独特的温度变化补偿处理，抑制了MFC的零漂，线性度高，具有重复性佳、工作压力范围宽、流量范围广等特点
4）全金属密封技术，耐腐蚀，He泄露量≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s
5）可在真空或高压气路中作业；被广泛应用于半导体（如刻蚀、扩散、光刻、钝化、分子束外延等）、光伏、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、航空电力等行业