据芯源微、大湾区集成电路研究院官微消息，日前，广州芯知科技有限公司半导体设备光刻胶泵及高纯供液系统研发及产业化项目开工仪式在广州隆重举行。标志着沈阳芯源微的子公司芯知科技在广州落地生根迈出了坚实的一步，也为集成电路零部件产业在广东集聚发展再添新生力量与强劲动能。

资料显示，广州芯知科技有限公司成立于2023年，由沈阳芯源微电子设备股份有限公司发起设立。芯知科技的产业布局包括半导体核心零部件国产替代产线、划片机等半导体整机产品、芯源微珠三角客服中心，主营产品光刻胶泵是半导体设备核心零部件，主要应用于前道涂胶显影设备，是国家“卡脖子”产品，目前国内无可替代厂商。芯知科技实现光刻胶泵产品的产业化后，将有效避免核心物料断供对国内半导体装备产业的不利冲击，提升国内半导体装备产业的核心竞争力。后道定量胶泵可应用于化合物、LED领域涂胶显影设备以及键合/解键合机等2.5D/3D封装设备。