上海车仪田科技有限公司是国内领先的在线测控类关键子系统与核心零部件供应商。公司拥有终点检测系统、真空阀门、加热带、测温系统、气体分析系统和臭氧系统六大产品线，致力于为半导体制造及相关设备提供软硬件一体化的在线检测与控制子系统解决方案。

公司自主研发的IEP（Interferometric Endpoint）刻蚀终点检测系统是国内首款基于白光干涉原理开发的刻蚀终点检测设备。该系统通过实时监测晶圆表面被刻蚀膜层的厚度变化，精准判断刻蚀终点，并集成了光谱采集与膜厚判定算法，可直接集成于等离子体刻蚀设备，实现对工艺过程的高精度监控与闭环控制。

尤为突出的是，IEP系统率先融合IEP-OES联用工艺技术，同时实现干涉终点检测与光学发射光谱终点检测，检测性能与工艺适应性均达到国内领先水平。目前，该产品已实现批量生产，并成功导入多家国内主流晶圆制造厂，成为支撑先进刻蚀工艺的关键检测装备。

主要性能特点：

●    覆盖200nm~800nm关键光谱范围

●    光谱分辨率＜1.5nm@25μm

●    暗噪声<20RMS@100ms

●    积分时间1ms~30s宽范围可调

●    内置高稳定性氙灯光源，光谱输出范围190nm~1100nm