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中巨芯科技有限公司展出与日本中央硝子中国合资产品高纯六氟化钨(WF6)

来源:大半导体产业网    2021-03-17
核心提示:产品品质与日本宇部工厂一致,产品是集成电路生产工艺中金属层互连金属钨化学气相沉积(CVD)的原料,也是存储产品生产工艺中金属化层的原料。

展位号:N5-5171

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浙江博瑞中硝科技有限公司2021年开始为集成电路客户供应高纯六氟化钨(WF6)产品。产品品质与日本中央硝子宇部工厂产品品质一致。

高纯六氟化钨(WF6)产品是集成电路生产工艺中金属层互连金属钨化学气相沉积(CVD)的原料,也是DRAMS,3DNAND等存储产品生产工艺中金属化层的原料。

公司成立于2018年12月,为中巨芯科技有限公司的全资子公司浙江博瑞电子科技有限公司与日本中央硝子株式会社合资的中外合资企业,注册地浙江省衢州市柯城区。

公司生产基地在浙江衢州巨化集团有限公司厂区内,占地20亩。引进拥有30年六氟化钨(WF6)生产历史的日本中央硝子先进的高纯电子气体生产技术。公司具有生产、研发和分析检测先进设备和仪器及高集成度自动化控制系统。拥有强大的国内外先进制造和研发技术团队、合理的布局规划、现代化管理体系,为公司稳定生产、持续研发和产品升级提供了坚实的基础和有力的保障。

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