自“湖北省经济耳环信息化厅”网站获悉，近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称中微公司）华中总部正式落户光谷，项目聚焦核心半导体设备研发，已于7月28日完成武汉子公司注册，入驻光谷存算双创园，预计明年初正式投入运营。

中微半导体设备（武汉）有限公司注册资本5000万元，计划在光谷存算双创园建设华中总部及研发中心，开展薄膜、刻蚀、外延等核心半导体设备的研发，服务武汉乃至华中地区重点客户。预计落户员工约300人，其中研发人员达100人。

中微公司成立于2004年，是国内半导体设备龙头企业，已开发出54种高端半导体设备，包括26种高能和低能等离子体刻蚀机设备，24种各类薄膜设备、化学机械抛光设备和量检测设备。