自“御微半导体”公众号获悉，10月8日，御微半导体自研装备、面向先进制程掩模基板缺陷检测设备Halo-300正式发运国内头部掩模基板客户。

在先进制程掩模制造领域，掩模基板缺陷检测设备技术门槛较高，此前国内相关设备主要依赖进口。Halo-300的成功研发与落地，精准破解了先进制程掩模基板检测的国产化难题，为国内先进制程掩模制造筑牢了自主可控、安全可靠的质量管控屏障。

设备适配场景广泛，可全面覆盖石英基板制造、空白掩模基板制造、光罩厂掩模基板来料检测等上下游核心环节，有助于推动产业链缺陷检测标准的统一。同时，Halo-300高度集成自动化开盒、倒板、翻面等功能模块，大幅减少人工介入，实现检测全流程封闭式智能管控；搭配公司自研智能缺陷分类系统，兼具检测精度与运营效率，全方位满足高端掩模基板的全检需求。