10月12日，微导纳米公告称，公司拟向特定对象发行A股股票，募集资金总额不超过49.44亿元，扣除发行费用后拟用于无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目、华中先进半导体设备产业化项目、尖端薄膜沉积技术研发中心项目及补充流动资金。

其中，尖端薄膜沉积技术研发中心项目拟投入募集资金32.25亿元，无锡项目拟投入7.29亿元，华中项目拟投入2.89亿元，补充流动资金7亿元。

据介绍，尖端薄膜沉积技术研发中心项目将聚焦三大研发方向：一是针对先进制程、先进封装与新材料的中长期需求，研发前沿薄膜沉积设备、薄膜材料及配套工艺；二是立足现有ALD、CVD技术，拓展PVD、ALE等路线；三是融合AI技术，赋能设备控制、工艺调优、故障诊断与智能运维，提升设备数字化、智能化能力。