定制方案：
VTM晶圆真空传送平台
Wafer Vacuum Transfer Module
技术优势：
1.保证高真空度：5.0×10-8Torr(vacuum system dependent)
2.低漏率检测：PCW leak rate: <1.0×10-8 cc/sec He,
N2&CDA&He: leak rate: <1.0×10-9 cc/sec He,
3.百级无尘室高纯气体管路焊接制作
4.部件国产化优势
定制方案：
VTM晶圆真空传送平台
Wafer Vacuum Transfer Module
技术优势：
1.保证高真空度：5.0×10-8Torr(vacuum system dependent)
2.低漏率检测：PCW leak rate: <1.0×10-8 cc/sec He,
N2&CDA&He: leak rate: <1.0×10-9 cc/sec He,
3.百级无尘室高纯气体管路焊接制作
4.部件国产化优势