您的位置:首页 半导体

深圳平湖实验室8英寸1200 V增强型Si基GaN HEMT研发取得关键性突破

来源:大半导体产业网    2025-12-22
深圳平湖实验室首次在8英寸Si衬底上实现了超过8μm的低翘曲GaN外延,并成功验证了1200V等级科研小器件电性。

据深圳平湖实验室官微消息,深圳平湖实验室在高压1200V级GaN功率器件领域取得关键性突破,首次在8英寸Si衬底上实现了超过8μm的低翘曲GaN外延,并成功验证了1200V等级科研小器件电性,关键性能达到国际先进水平,为提升数据中心800V母线供电、工业电机驱动等关键产业的核心元器件自主供应能力奠定了坚实基础。

据悉,深圳平湖实验室高压GaN研发团队依托实验室先进的8英寸硅基GaN科研中试平台,通过厚膜外延和场板优化,攻克了一系列制约产业化的关键技术难题:

1)大尺寸低翘曲厚膜外延技术:首次在8英寸硅衬底上制备了厚度大于8μm的GaN外延层,实现了超过2.25kV的外延纵向耐压,外延翘曲<30μm。
2)高性能高压器件制备技术:在8英寸厚膜外延上制备了1200V增强型Si基GaN HEMT 科研小器件,器件展现出良好的增强型特性(阈值电压大于2V)和高耐压能力(漏极击穿电压大于2kV)。

目前,基于该成果开发的1200V级GaN HEMT器件正在积极推进工程样品的封装与可靠性验证,预计首批1200V封装样品将于2026年Q3对外发布。此项成果不仅突破了在8英寸Si衬底上实现超厚GaN外延的关键壁垒,还证实了1200V级GaN HEMT器件在高频大功率高压应用中的可行性。