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南京屹立芯创半导体科技有限公司——VPSA 全自动真空压力除泡系统

来源:大半导体产业网    2024-03-20
屹立芯创VPSA系列——全自动真空压力除泡系统,独特的真空与压力交互切换模式有效解决气泡问题。

屹立芯创VPSA系列——全自动真空压力除泡系统,打破传统技术瓶颈,多项创新发明专利技术轻松实现全自动智能除泡,独特的真空与压力交互切换模式有效解决气泡问题。VPSA具备多种优势:三重压力控制结合双重温控系统,更符合不同产品特性,可实现多重多段精细化除泡;特殊的温控方式可以实现腔室的快速升温降温,大幅度提高UPH;炉体具有压力容器多国认证合格证明,并设置超压超温保护装置,确保使用安全。此外,我们还可以提供含氧量控制、除挥发物装置、电子增压系统、自动开关炉门等多款选配项目,来满足客户定制需求。

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