3月18日，绿色厂务科技论坛在SEMICON China 2021第二天隆重召开。会上聚集了来自国内外的行业领导者、高级技术专家，共同探讨厂房（洁净室等）设计与建造水、电、气、化学品等能源的供应、利用、回收和处理以及设备效能提升、节约成本等方面的问题。本次大会将专注于高效节能、绿色环保等主题，此次会议由上海玟昕科技有限公司总经理黄光锋主持。

京东方科技集团股份有限公司厂务中心资深总监冯俊亭带来了大会首场演讲报告——《BOE显示工厂绿色发展之路》，京东方拥有16条半导体显示生产线（1条在建），目前有10座工厂取得国家级绿色工厂荣誉，2座工厂取得国家级绿色供应链，1座工厂取得国家三星建筑认证。在绿色建筑方面，京东方主要实施光伏发电、雨水回收系统、分区照明、节能结构。通过智能化平台管理实现动能单耗逐年降低。绿色厂务带来了大量能源的节省、减少了温室气体以及废物排放。作为环境可持续发展理念的倡导者与践行者，京东方始终秉持绿色经营理念，采用先进技术不断提升能源与资源利用率，并致力于清洁能源的开发和利用，以降低废弃物和温室气体排放。

华为技术有限公司数字能源DC智能供电总经理李庆委发表了题为《以可靠性为基石，构建极简绿色的产线供电解决方案》的主题报告,半导体制造产线供电面临的这些挑战是电网和负载对可靠性的影响，复杂设计、复杂运维以及碳中和要求产线绿色节能等。华为新一代产线供电解决方案主要表现为可靠、极简以及绿色三个方面。可靠就是可靠供电，主要表现为适应复杂电网类型和多类产线设备；iPower变被动告警为AI预测性维护，减少人工运维；联合供电模式优化市电暂降。极简则是极简运维，主要表现为全模块化架构，在线维护&升级；保障可靠性的同时，减少变压器配置；生命周期无需更换电容；自动分组核对性容量测试。绿色则表现绿色节能，主要表现为创新智能在线模式、高质量供电、全模式0ms切换、99%超高效。

施耐德电气（中国）有限公司智能配电工程应用大学负责人杨光辉带来了题为《EcoStruxure 助力半导体工厂之创新实践》的演讲，杨光辉表示，对用电安全极为重视的电子厂房也会供电故障，一次短暂的电力故障就会带来数百万美元的损失。电子厂房供配电面临着：容量巨大，3班连续工作制，供电连续性要求极高；负荷类型复杂，超过100种工艺设备，特别重要负荷的占比超过90%；为保障工艺设备的良品率，电能质量要求非常高；厂区面积大，中低压系统覆盖广，运维难度大等方面的挑战。坚持健康可持续、主动式运维等才能更好地满足电子厂房供配电系统建设和运维的需求。新兴电子工厂需要真正安全、稳定和高效的供配电系统。EcoStruxure创新优势在于原系统整合资源、提升效率、减少投资等方面，能够助力良率提升，提高效率等。

中芯国际集成电路制造（上海）有限公司上海、深圳暨先进工艺厂区环安组织总监江颖俊在会上介绍了《全球气候变迁形势下的半导体制造业特定温室效应气体排放管理及实践》，在全球环保和可持续发展过程中，气候变化已经变成非常急迫的问题。IPCC会提供科学、技术和社会经济方面的信息，包括与人类引起的气候变化政策制定和温室气体减排战略缓解有关的信息。数据指出，1910年-2010年，地表温度变化与温室气体排放有非常强的正相关。工厂在生产中如电力使用，还有工艺过程等方面都会排放温室效应气体。全球半导体协会制定了半导体行业的温室气体减排目标（排放强度），在2020年比2010年下降30%。（成就：呈下降趋势，但未达到目标。如果目标不包括电力产生的温室气体排放，这可能是可以实现的），而对于2030年还在讨论和谈判中。大多数半导体制造公司都受到当地碳交易法规的监管。

埃地沃兹贸易（上海）有限公司半导体服务运营总监蔡育闻分享了题为《简述半导体真空和尾气处理系统中产品使用周期循环及可持续发展效益》的演讲报告，循环经济有直线经济、简单循环经济以及真正的循环经济这三种层次。埃地沃兹将循环利用更加细致化，延长产品的生命周期，降低对资源的获取。埃地沃兹在产品设计的阶段，就预留了升级的空间。循环业务模式必须提供真正的业务价值、核心能力使循环经济转型。

上海哈克过滤科技股份有限公司工业过滤事业部总经理侯利以《基于微电子行业空气过滤器及净化设备的应用》为主题做介绍。侯利指出，哈克过滤科技股份有限公司采用垂直一体化战略，通过打通上下游构造闭环生态圈提供一站式过滤解决方案。2002年，公司成立开展吸尘器过滤器业务，之后成功在新三板上市，并成立了湖州分公司投资新加坡公司。哈克过滤科技提供全面广泛的空气、气体以及液体过滤解决方案，无论在IT技术、医疗&制药或者汽车与交通等方面都具有广泛应用。其通风系统洁净空气解决方案适用于电子洁净室，其产品有初中效过滤器、高效过滤器以及洁净室设备。