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江苏集芯产出首枚8英寸液相法碳化硅单晶

来源:大半导体产业网    2025-08-04
江苏集芯成功出炉首枚8英寸液相法(LPE)高质量碳化硅单晶,完成液相法工艺从6英寸到8英寸的研发跨越。

据徐州日报报道,近日,江苏集芯先进材料有限公司(以下简称“江苏集芯”)成功出炉首枚8英寸液相法(LPE)高质量碳化硅单晶。经检测,晶体面型、晶型与结晶质量均达到预期目标,标志着江苏集芯在第三代半导体核心材料领域再下一城,也为我国碳化硅产业链的自主可控写下关键一笔。

据悉,江苏集芯仅用半年便完成液相法工艺从6英寸到8英寸的研发跨越。相比PVT,液相法在生产效率、材料利用率、成本控制及大尺寸扩径等方面优势显著,被公认为下一代碳化硅长晶的核心路线。全球范围内,仅极少数顶尖机构曾试制出液相法晶体,真正迈入8英寸级仍属罕见。江苏集芯此次突破为未来低成本、低缺陷、易掺杂的碳化硅晶体生产打通了“快车道”。