在半导体产业向先进制程持续突破的浪潮中，薄膜制备设备作为芯片制造的核心环节，已然成为筑牢产业链自主可控的关键支撑。合肥致真精密设备有限公司（下称：致真设备）重磅推出 Trutholar300 系列 12 英寸新型存储器薄膜制备设备，凭借模块化架构设计、原子级精准工艺控制与全栈兼容的核心优势，为下一代存储芯片的研发攻关与规模化量产筑牢装备根基，更推动中国半导体核心工艺的自主化发展迈向全新阶段。

Trutholar300-S-10

作为核心产业级薄膜制备装备，致真设备 12 英寸物理气相沉积设备（Trutholar300-S-10 型）专为半导体企业实验室研发与产线生产定制，兼具高性能与高效率核心优势。设备创新采用多真空腔室互联架构，通过晶圆真空传输平台实现晶圆稳定传输，支持多溅射室、处理腔室灵活组合，可无缝适配实验线工艺验证与生产线规模化应用场景。

性能参数

定制化配置 适配多样化工艺需求

设备支持前端、传输、工艺模块的自由选配，可根据企业的研发方向和产线工艺，定制化搭建设备体系，无论是合金薄膜、氧化物薄膜还是氮化物薄膜，无论是实验室研发还是量产线生产，都能实现精准适配，大幅提升企业的工艺灵活性。在应用领域上，该系列设备深耕新型存储器制备，并全面赋能集成电路、功率半导体、硅基微型显示、先进封装、新型存储器、新能源等尖端领域的规模化制造。已成为推动相关产业实现自主可控与性能跃升的关键装备，为中国高端制造的崛起注入强劲动力。

产业筑基 自主平台赋能中国芯生态

Trutholar300系列12 英寸物理气相沉积设备的推出，标志着致真设备在高端物理气相沉积设备领域完成了从单点技术突破到平台化能力布局的战略升级。针对国内高端薄膜沉积装备长期依赖进口的产业痛点，这款设备打造出国产化、可替代、可定制的核心工艺解决方案，让国内半导体企业在核心制程环节拥有了自主可控的装备选择。

致真设备始终坚信，产业发展的底气源于底层技术的自主掌控与持续迭代。我们以技术自主为核心根基，以开放协同为发展路径，愿与产业链上下游伙伴深度携手，共建从技术研发到规模量产的全链路创新生态，持续为中国半导体核心装备的自主进化注入动力，共同提升国产半导体装备的全球市场竞争力。

合肥致真简介

合肥致真精密设备有限公司(Truth Equipment Co., LTD)成立于2021年5月，是一家专注于高精度物理气相沉积设备及其关键组件研发和制造的国家高新技术企业。公司依托北京航空航天大学、北航合肥创新研究院、杭州北航国际创新研究院等雄厚的科研力量，研制了多款具有自主知识产权的国产高端科研级和产业级磁控溅射设备，同时为合作伙伴和客户提供薄膜加工制造、工艺调试、设备软件开发等服务。技术驱动、方案营销，致真设备秉承“追求极致、务实求真、敢于创新、合作共赢”的致真精神，致力于提升高端薄膜沉积设备的自主可控水平，推进产学研深度融合，将先进的科研成果转化为具有竞争力的产品，努力解决集成电路行业卡脖子的关键设备和工艺难题。