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美光计划采用晶圆键合与High-NA EUV技术推动DRAM发展

来源:综合报道    2026-10-28
美光(Micron)计划在目前开发的1ε DRAM工艺中引入晶圆键合(wafer bonding),并在后续世代采用High-NA EUV光刻技术。

据报道,美光(Micron)计划在目前开发的1ε DRAM工艺中引入晶圆键合(wafer bonding),并在后续世代采用High-NA EUV光刻技术。公司还在开发垂直高带宽内存(vHBM)、垂直边缘推理内存(vEIM)和定制HBM(cHBM)产品,以满足特定应用需求。

目前,美光的1γ DRAM工艺已经进入大规模量产阶段,而其后续工艺1δ计划于2027年下半年进入量产。1δ承诺将位密度提高20%左右,并针对未来的AI内存产品进行了优化,包括HBM5、vHBM和vEIM。在1δ之后,美光计划在目前正在开发的1ε工艺中引入晶圆键合。然而,该公司尚未披露其打算如何实现晶圆键合,以及期望从该技术中获得哪些改进。

对于后续后续世代,美光计划在ζÅ工艺节点采用High-NA EUV光刻技术,这将使其第一个低于10nm级的DRAM节点。而在更后续的节点ηÅ中,美光计划使用新材料。该公司正在与Albany NanoTech(奥尔巴尼纳米技术综合体)合作开发制造技术,预计将在未来5-10年内使用这些技术。

美光的路线图还包括2代3D DRAM、3D1以及3D2,公司尚未公布这些产品的架构或推出时间。只有当3D DRAM在制造成本、复杂度和性能方面相较平面DRAM具备足够优势时,美光才计划推出该技术。

同样,美光尚未公布vHBM、vEIM或cHBM的商业化量产时间点。这些产品的开发表明,先进封装和处理器将紧密集成将在未来内存性能中发挥重要作用,需要DRAM制造商与逻辑芯片开发者共同协作。