日前，中微公司发布公告称，公司发行股份及支付现金购买杭州众硅电子科技有限公司64.69%股权并募集配套资金事项，标的资产过户手续已办理完毕。

今年3月，中微公司宣布拟通过发行股份及支付现金的方式购买杭州众硅64.69%股权，交易对价约15.76亿元，同时募集配套资金不超15亿元，用于高端半导体设备产业化项目、高端半导体设备研发中心项目、支付现金对价及中介机构费用、补充流动资金。

此次交易标的公司杭州众硅的主营业务为化学机械平坦化抛光（CMP）设备的研发、生产及销售，属于湿法工艺核心设备，是国内少数掌握12英寸高端CMP设备核心技术并实现量产的企业。交易完成后，中微公司将成为具备“刻蚀+薄膜沉积+量检测+湿法”四大前道核心工艺能力的厂商，成功实现从“干法”向“干法+湿法”整体解决方案的关键跨越。