据合肥经开区投资促进局消息,日前,通潮精密控股子公司晶海热瓷投资的半导体核心零部件项目签约仪式在合肥经开区举行。
据悉,晶海热瓷项目规划总投资数亿元人民币,主要研发、生产及销售半导体设备用陶瓷加热器及结构件、各类金属加热器等产品。合肥经开区管委会副主任张露表示,项目的成功签约将进一步完善合肥经开区集成电路产业链,加快国产化替代步伐。
资料显示,通潮精密机械股份有限公司成立于2016年,致力于泛半导体产业关键设备部件的研发及生产,产品主要应用于泛半导体薄膜工艺、刻蚀工艺等关键工艺环节,也是国内首家将面板领域CVD设备、干法刻蚀设备电极部件国产化的企业。