
产品名称:SWW全新一代水冷却机
产品介绍:
本产品专为半导体行业对高精度温度控制的严苛要求而设计,适用于薄膜沉积等关键工序。产品符合SEMI标准,适配各种复杂工况,是半导体制程中稳定性和效率提升的关键设备。
温度控制精度高:创新采用电动三通阀与加热管协同工作,实现冷源水流量精准调节,控制精度可达±0.3℃,满足高精度温控要求。
工作温度范围广:可在5~45℃范围稳定运行,并支持温控范围20~90℃,具备超强灵活性和适用性。
极简无螺钉外观:独特无螺钉设计,外观简洁、美观,降低了故障风险,简化了清洁维护流程,大幅降低了运维成本。
智能化监测与通信:配置电导率监测(1.9-2.1MΩ·cm),内置压力、流量传感器,配备RS485通信,可实时监测温度、流量,配合液位预警和漏液检测,保障了系统安全性和可靠性。