日前，阿斯麦控股公司表示，英特尔公司已在Intel 18A工艺节点上，开始使用其最先进的机器进行芯片生产，显示这种新设备已准备好被广泛采用。

两家公司在联合声明中表示，英特尔将依靠阿斯麦的EXE高数值孔径极紫外线光刻机（High NA EUV）来生产其Ultra 3（代号 Panther Lake）系列芯片的部分产品。

双方表示，Intel 18A部分工艺层已完成High NA EUV双重认证，产品良率已达到现有NXE EUV平台水平，并将继续推进该技术在未来制程节点的应用。