12月10日，SUSS MicroTec宣布推出最新一代的光刻机 MA8 Gen5。这款全新半自动工具专门用于压印光刻，而压印光刻是一系列关键技术的应用趋势（如面部或指纹识别、光地毯或增强现实）。

新平台为标准化、先进和高端的工艺流程引入了改进的压印光刻处理功能，进一步开发了增强型 Suss 调平系统，并提供了附加的改进功能。 这种改进提供了一种在膜版和基材之间实现更精确平行的有效手段。

MA8 Gen5 可处理 200 毫米的晶圆，是一种极具吸引力的解决方案，采用著名的 SUSS SMILE 压印光刻技术，可满足 LED、MEMS/NEMS、微光学元件、增强现实和光电传感器领域的多种压印光刻应用要求。

SUSS MicroTec SE 董事会主席兼首席执行官 Franz Richter说：“SUSS 光刻机在七十年间以其可靠性和稳健性能而闻名。 对于我们的客户来说，这种增强型对齐器生成的压印光刻解决方案可满足行业对可靠性和精度的要求，从而高效地制造复杂结构满足当今和未来的应用。 它标志着朝着实现我们的 Suss 2025 增长战略目标迈出了重要的里程碑。”

MA8 Gen5 是一款独立的工具，也可作为模块集成到用于大批量生产的全自动集群系统中。