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长三角半导体玻璃基板TGV工艺装备研发及产业化基地项目一期主体封顶

来源:大半导体产业网    2025-12-22
项目总投资12亿元,聚焦半导体核心材料装备领域,投产后将形成年产150套TGV玻璃基板半导体工艺装备的产能。

据“南浔发布”公众号消息,近日,长三角半导体玻璃基板TGV工艺装备研发及产业化基地项目一期工程完成主体结构封顶,预计明年6月可实现完工交付。

此前消息显示,项目由苏州晶洲装备科技有限公司投建,总投资12亿元。地块北临旧馆大道、南临横一路,总建筑面积约3.8万平方米,旨在打造一个集半导体玻璃基板TGV工艺装备的研发、制造、产业化于一体的综合性高科技产业园,形成TGV工艺装备的研发能力和规模化生产能力,并计划构建一个从材料、装备到工艺应用的完整产业生态。

作为长三角地区半导体材料领域的重点布局项目,聚焦半导体核心材料装备领域,以半导体玻璃基板TGV工艺装备的研发与生产为核心方向。项目投产后,将形成年产150套TGV玻璃基板半导体工艺装备的产能,不仅能有效填补区域在该类高端核心装备制造领域的空白,更将为长三角半导体产业链补链强链注入强劲动能。