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Rapidus启动2nm GAA晶体管试制

来源:大半导体产业网    2025-07-18
Rapidus宣布启动 2nm GAA(全环绕栅极)晶体管的试制,并展示了其首块2nm GAA晶圆。

据Rapidus官网消息,7月18日,Rapidus宣布启动 2nm GAA(全环绕栅极)晶体管的试制,并展示了其首块2nm GAA晶圆。

据悉,Rapidus首块2nm GAA晶圆直径30厘米,此次公开的晶圆仍处于中间阶段,仅包含部分必要功能。Rapidus计划进一步改善晶体管性能,争取在年内完成开发。

此外,Rapidus正在开发与其2nm工艺兼容的PDK(工艺开发套件),计划2026年一季度结束前向客户交付。该企业2027年实现2nm量产的计划没有改变。

据了解,Rapidus由丰田、索尼、NTT、NEC、软银、Denso、铠侠、三菱UFJ等8家日本企业共同出资成立,目标是开发和生产最先进的半导体工艺。其首座晶圆厂IIM-1于2023年9月1日奠基,2024年12月完成了洁净室准备,2025年4月1日实现了初始图案的曝光与显影,并在2025年6月完成了由200多个制造单元构成的生产线。