据中电二公司官微消息,近日,中国蚌埠传感谷8英寸MEMS晶圆生产线EPC项目首批产品成功下线,标志着全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线、全国首条工艺设备配套齐全的压电MEMS量产线正式投产。
据悉,华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线项目由安徽华鑫微纳集成电路有限公司投资建设,总建设投资达50.6亿元,占地约79亩,总建筑面积约6万平方米,定位为国内领先的8英寸MEMS晶圆代工企业以及国内领先的“开放式、定制化MEMS代工平台基地”。
作为国家级重点项目、全部建成投产后,将具备月产3万片晶圆的能力,成为国内产出最大的MEMS全自动晶圆生产线。