据甬江实验室官微消息,11月18日,2025异质异构集成前沿论坛暨甬江实验室信息材料与微纳器件制备平台(以下简称“微纳平台”)验证线通线仪式举行,微纳平台8英寸验证线正式通线。
至此,甬江实验室正式建成国内领先、世界一流的全链条异质异构集成开放共享平台。
据悉,微纳平台是甬江实验室在电子信息材料与器件领域布局建设的重要公共科研支撑服务平台,也是甬江实验室迄今为止投入最大的平台。平台建筑面积12000平方米,其中洁净室面积6000平方米,配备包含165台(套)高端精密设备和一支规模达到60余人的运营团队。
平台聚焦“异质异构集成”特色方向,以国际一流水平的软硬件为支撑,为半导体行业提供从“科学发现—技术验证—工程实现”的全链条研发验证服务,并提供先进稳定的工艺设计套件和高工业参考价值的系统解决方案,致力于成为支撑前沿科技创新、引领微纳制造共性技术、赋能产研生态的开放、共享型科创服务平台。